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气体管道工程施工
来源: | 发布时间:2019/4/1 15:25:51 | 浏览次数:

工业管道工程一般分为两种,一种为工业气体管道工程,一种为工业化学品管道工程。


一、工业气体管道工程


工业气体管道工程是指气体由不锈钢管道从气体储存装置输送到用气点。多数科研院所实验室以及工厂车间生产线经常用到超高纯工艺气体,这些气体的纯度要求大多在99.999%(5N)或以上,因为这些工艺气体在纯度上要求非常高以及部分气体的不稳定与危险性所以其输送系统必须是以不锈钢管道传输,切其不锈钢管件选材上也有不同的要求。

58棋牌管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP 管,经电解拋光 (Electro-Polish) 处理,耐腐蚀,表面粗糙度低, Rmax(maximum peak to valley height) 约为 0.3μm 以下,其值远低于经过光辉烧结 (Bright Anneal) 处理之 316L BA 管的 0.8μm ,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。 316L BA 管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如 GN2 、 CDA 。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的 AP 管 (Annealing & Picking) ,则用于不做为供气管路的双套外管。


二、工业化学品管道工程

在集成电路芯片和液晶显示器生产的行业中,生产工艺需用的各种无机化学品药液(主要包括各类酸、碱、盐等)需要通过管道输送到工艺设备,这些化学品药液中具有强腐蚀性、易燃性、易爆性和剧毒性等危害,为防止化学品管道的输送过程对人、设备造成伤害以及对环境造成的污染,保证电子工业厂房化学品管道安全有效输送,要求此类管采用双套管的施工方法,而传统的双套管施工工艺是透明PVC管内穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

本文由漳州管道工程提供

 
 
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